電子束鍍膜機的常見故障要從它的系統(tǒng)組成幾個部分說起，系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。

　　首先說真空系統(tǒng)的部分，可能出現(xiàn)的故障有：

　　閥門問題，各種閥門打不開：出現(xiàn)各種閥門打不開的情況時，首先檢查閥門各屬器室的閥門有無關到位、氣壓是不是正常，如果上述的條件都正常但是仍舊不能工作的情況下，則應對照系統(tǒng)電氣原理圖檢查各執(zhí)行器件供電回路是否正常，逐一進行排除。

　　其次是電子束鍍膜機工件轉(zhuǎn)動系統(tǒng)的問題：

　　轉(zhuǎn)速不對或者根本不轉(zhuǎn)，一般這種情況下有三種可能：

　　一、工作轉(zhuǎn)盤不轉(zhuǎn)動：可能原因有，機械轉(zhuǎn)動系統(tǒng)壞了、電機損壞、電壓不正常。這種情況下我們可以調(diào)動系統(tǒng)使其靈活、檢查電機繞組是否短路燒壞了、檢查電機調(diào)速器的輸出情況。

　　二、轉(zhuǎn)速不可調(diào)節(jié)：可能原因有，調(diào)速器給定電壓不正常以及調(diào)速器工作不正常。這種情況下我們可以檢查調(diào)速器給定電壓情況、檢查給定電位器及其外部連接是否完好、檢查調(diào)速器或更換。

　　三、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定：可能原因有，機械轉(zhuǎn)動系統(tǒng)不平衡、電氣接觸不良、調(diào)速器參數(shù)發(fā)生變化。這種情況下我們可以檢查并轉(zhuǎn)動系統(tǒng)、檢查給定電機及電速器連接是否完好、檢查調(diào)速器或更換。

　　最后是工件烘烤系統(tǒng)：

　　一、溫度失控，恒溫不穩(wěn)定：可能原因有，溫控儀工作失常、調(diào)功器輸出不能調(diào)節(jié)、熱電偶位置欠妥。這種情況下我們可以檢修更換溫控儀、檢查調(diào)功器工作情況、調(diào)整熱電偶位置。

　　二、跳閘：可能原因有，自身短路、絕緣降低、電阻太小。電子束鍍膜機這種情況下我們可以檢修加熱器件重新調(diào)整到正常工作、清洗蒸發(fā)物質(zhì)檢查絕緣物質(zhì)是否破損提高真空度、選擇較低的輸出電壓待溫度升高再提高電壓。